晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式凹槽型接插件型光電傳感器。
使用環(huán)保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2mEE-SPX741尺寸：96×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC/DC24V用）凹槽型接插件型光電傳感器。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數(shù)：2點。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升凹槽型接插件型光電傳感器。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預防維護溫控器內(nèi)部繼電器EE-SPX741。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。端子部形狀:端子內(nèi)置型。
保護管直徑D：φ6.4mm。
保護管長度L：50cm。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品EE-SPX741。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。E32-D15Z種類：標準型；標準，
特長：平面形狀；平視，
彎曲半徑(mm):R25EE-SPX741。
標準檢測物體(最小檢測物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元采用可見光點的紅色LED 。
即使在遠處也能一目了然的大指示燈。
提高操作性能(靈敏度調(diào)節(jié)旋鈕、動作模式切換開關(guān)大型化)。
電源電壓：AC/DC自由電源型。
檢測方式：對射型(投光器＋受光器)
檢測距離：紅色光5m。
輸出形式：NPN輸出。
投光器: E3JK-TN12-L 2M。
受光器: E3JK-TN12-D 2M。高性價比的標準型接近傳感器。
標準采用電纜保護器。
新增直流二線式機種。
無極性二線式接近傳感器。
種類：直流二線式/接插件型。
極性：有。
形狀：非屏蔽，M18。
檢測距離：14mm。
動作模式：NC。本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅(qū)動用）。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：2點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數(shù)：2點。
傳送輸出：--。
通信：--。
48mm的通用溫控器已升級＆功能/性性能提升。
指示精度提升、增增加了預防維護功能，
性能進一步提升歐姆龍EE-SPX741。
E5CN-U（插入型）新增模擬輸入入入型和電流輸出型凹槽型接插件型光電傳感器。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預防維護溫控器內(nèi)部繼電器。
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